近日，北方華創正式發布應用于晶邊刻蝕（Bevel Etch）工藝的12英寸等離子體刻蝕機Accura BE，實現國產晶邊干法刻蝕設備“零”的突破，為我國先進芯片制造量身打造良率提升高效解決方案。

Accura BE

集成電路產業技術節點的不斷演進，對芯片制造的良率提升帶來日益嚴苛的挑戰。工藝步驟的大幅增長，由晶邊沉積的副產物及殘留物驟增導致的缺陷風險成為產品良率的嚴重威脅，因此，越來越多邏輯及存儲芯片等領域制造商開始重點關注12英寸晶圓的邊緣1mm區域，從晶圓的邊緣位置著手提高芯片良率。晶邊刻蝕機作為業界提升良率的有力保障，其重要性日益凸顯。

Accura BE作為首臺國產12英寸晶邊刻蝕設備，其技術性能已達業界主流水平：通過軟件系統調度優化與特有傳輸平臺的結合，可助力客戶實現較高的產能；通過選擇搭配多種刻蝕氣體，實現對PR（光刻膠），OX（氧化物），SiN（氮化硅），Carbon（碳），Metal（金屬）等多類膜層材料的晶邊刻蝕工藝全覆蓋；可定制多種尺寸的聚焦環設計組合，實現對等離子體刻蝕區域的精準位置控制，從而為客戶提供靈活、全面的良率提升方案；具備軟件智能算法，可實施可視化的量化調節，簡化維護流程，提高設備生產效率。

為實現國產晶邊干法刻蝕設備“零”的突破，北方華創組建專業團隊投入研發，基于20余年在刻蝕工藝技術、等離子體控制及多材料刻蝕能力等方面的積累與創新，Accura BE剛發布上市，就已斬獲邏輯及存儲器領域頭部客戶多個訂單，通過工藝調試，進入量產階段，其優秀的工藝均勻性、傳輸穩定性及快速維護的能力贏得客戶高度評價。